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半導体工場向け生産支援システム

…プロトコル変換機 ○ ○ ウェハテスト工程 ウェハテスト工程・装置管理システム ○ ウェハテスト品質判定システム ○ ウェハマップ編集システム ○…

ウェハテスト工程・装置管理システム

検査装置から装置データとウェハマップデータを自動で収集することが可能です。装置管理、工程操作、ウェハマップデータ管理など総合的に作業を支援します。   検査装置とオンライン通信 装置からデータを直接受信 装置コントローラとオンラインの検査装置から装置データとウェハマップデータを取得してデータベースに格納します。 装置状態モニタリング 装置への仕掛状況、処理進捗をリアルタイムで画面に表示することが可能です。装置状態を一見して把握できるように状態によって色分けして表示しています。また、進捗状態はプログレスバー表示により、直感的に認識することが可能です。 進捗制御機能 製造指示データを受信して、製造条件(テストプログラム、治工具、フロー)に基づいてウェハテスト工程の進捗を管理します。端末から画面操作でロット状態を確認しながらロット進捗・状態操作を行うことが可能です。 治工具管理機能…

ウェハテスト品質判定システム

ウェハマップデータからウェハの品質を判定します。   品質判定機能 歩留判定 ウェハマップデータからウェハの品質判定を行います。 設定値と比較して、ウェハの歩留や指定カテゴリの発生数をチェックすることで、ウェハの品質を判定します。 品質判定はウェハ単位だけではなくロット単位で行うことも可能です。 品質異常ロットの凍結指示 異常判定ウェハの通知機能 判定処理で品質異常を検出した場合、設定によって担当者にメール送信や、他のシステムに凍結指示を通知することができます。…

ウェハマップ統合管理サービス「SWEETS」

…「SWEETS」は、ウェハマップデータに関する多彩な受託開発サービスをご提供致します。 ウェハプロセス工程、ウェハテスト工程、アセンブリ工程のそれぞれで装置とのインターフェース機能があり、ウェハマップデータや装置データを収集します。各種データを端末で表示することはもちろん、ウェハマップデータの強力な編集機能等の受託サービスをご提供します。   ウェハプロセス工程での必要機能紹介 欠陥ウェハマップデータ作成機能 ウェハプロセス工程の抜き取り検査装置から取得した欠陥チップデータとウェハ形状データを重ね合わせて、欠陥ウェハマップデータを作成します。 欠陥ウェハマップデータ合成機能 複数工程の欠陥ウェハマップデータをひとつに重ね合わせて不良化チップデータを作成します。   ウェハテスト工程での必要機能紹介…

キーワード

…基板 AUTOSAR APTJ, CioRy, Julinar 半導体 ウェハ, ウェハテスト, 製造工程  …