ウェハテスト工程・装置管理システム

検査装置から装置データとウェハテストデータを自動で収集することが可能です。 装置管理、工程操作、ウェハマップデータ管理など総合的に作業を支援します。


システム構成図


検査装置とオンライン通信

装置からデータを直接受信

装置コントローラとオンラインの検査装置から装置データとウェハテストデータを取得してデータベースに格納します。

装置状態モニタリング

装置への仕掛状況、処理進捗をリアルタイムで画面に表示することが可能です。装置状態を一見して把握できるように状態によって色分けして表示しています。また、進捗状態はプログレスバー表示により、直感的に認識することが可能です。

進捗制御機能

製造指示データを受信して、製造条件(テストプログラム、治工具、フロー)に基づいてウェハテスト工程の進捗を管理します。端末から画面操作でロット状態を確認しながらロット進捗・状態操作を行うことが可能です。

治工具管理機能

治工具の使用状況をブラウザで一覧表示

治工具の現在状態の一覧をブラウザから表示可能です。治工具データは、治工具品名、治工具状態、残りコンタクト可能回数など、使用目的にあわせて検索が可能です。

PDAによる治工具管理

治工具の装置への取り付け、保管庫への保管などの作業は無線端末で操作ができます。無線端末でバーコードを読み取ることで、作業者は治工具管理を簡単に行えます。

設備稼働集計機能

装置から集計したデータをWEBブラウザで表示・印刷、保存することが可能です。集計は自動的にリアルタイムで行い、稼働率計算や設備状態を把握することができます。設備稼働集計機能は、6種類の履歴表示が可能です。

  • 装置稼動履歴
  • 装置状態履歴
  • 装置故障履歴
  • 装置JAM時間
  • 装置処理履歴
  • 投入ロット処理履歴