ウェハマップ編集システム

ウェハプロセス工程からウェハテスト工程までの全てのウェハテストデータを取り扱うウェハマップデータ編集ツールです。
テストデータの重ね合わせ処理、チップの検査カテゴリ編集をロット単位で行うことが可能です。


システム構成図


ウェハマップデータ合成機能

テストデータ重ね合わせ処理

ロット単位で最大11工程のウェハテスト工程のウェハマップデータをひとつに合成できます。
基点チップを軸にして各テスト工程のウェハマップデータを重ね合わせ、各テスト工程で不良判定されたチップ座標の良品を不良化します。
ウェハマップデータは、最大で縦1999チップ×横1999チップのウェハマップサイズを扱うことが可能です。

ウェハマップデータ編集機能

データ編集機能

ウェハマップデータのカテゴリ変更上書きが画面操作で可能です。
1チップ単位の編集はもちろん、様々な編集機能を備えています。

  • 範囲指定によるチップの一括編集
  • ロット単位による複数ウェハの同一座標チップ一括編集
  • エリア外のチップ編集
  • カテゴリ別の一括編集

編集前のオリジナルデータは自動的にバックアップします。

ウェハマップデータ表示機能

ウェハマップ回転表示機能

WEBブラウザからウェハマップデータの表示が可能です。
ウェハマップデータはウェハ形状で画面に表示し、90度毎に360度回転表示が可能です。
良品チップと不良チップを色分け表示することで、一目でウェハ状態を確認することができます。

ロット分割・ウェハアウト機能

ロット単位でウェハ毎に分割指示・ウェハアウト指示が可能です。