ウェハマップ配送システム

製造拠点のウェハマップデータをセンターで一元管理します。
拠点間で異なるウェハマップデータもSEMIフォーマットで管理し、配送先の拠点に合わせたデータフォーマットで送受信を行います。
ウェハマップデータの拠点間での受け渡し、社外取引先との受け渡しが可能です。


システム構成図


ウェハマップデータのセンター管理機能

ウェハマップデータの一元管理

各拠点からウェハマップデータを収集して、センタで一元管理します。

外ファブとのウェハマップデータ受け渡し

社外取引先の半導体製造工場とのウェハマップデータの受け渡しも、本システムがデータ中継することでスムーズに行うことができます。

ウェハマップデータのフォーマット変換

拠点間で異なるウェハマップデータフォーマットを、一度SEMIフォーマットに変換して、データベースに格納します。拠点からウェハマップデータの送信を求められたときに、送信先拠点のウェハマップデータフォーマットに変換して送信します。

ウェハマップデータ送信機能

WEBブラウザからの画面操作で、変換システムに格納しているウェハマップデータを指定拠点へ送信することができます。
ウェハマップデータは送信時に指定拠点のマップフォーマットに自動的に変換します。

ウェハマップデータ登録・引取機能

ウェハマップデータをWEBブラウザの画面操作で、変換システムのデータベースに登録することができます。

  • フォーマット選択時に、同フォーマットである拠点名リストを表示
  • 拠点名リストより登録拠点を選択(未選択も可能 )

また、変換システムに格納されているウェハマップデータをダウンロードすることが可能です。

ウェハマップデータ表示機能

指定ロットのウェハマップデータをWEBブラウザの画面に表示することができます。
主な表示項目は以下のものがあります。

  • チップ名
  • オリフラ角度
  • ウェハサイズ
  • 基点チップ座標
  • 各良品カテゴリ数
  • 総チップ数
  • 総良品数