装置オンライン化

課題

• MES との接続仕様が装置ごと・メーカーごとに異なり、統一的なオンライン化が困難
• 古い設備では通信I/Fが限定され、自動制御や条件指示の実現が難しい
• 装置ごとにレシピ選択や設定入力が必要で、ヒューマンエラーが発生
• 旧世代設備を除外すると、全体最適の生産スケジュールが組めない
• 上位システム改修のたびに装置側の再調整コストが発生

アプローチ

サニー技研は、5インチ設備が主流だった時代からオンライン化を支援してきた経験をもとに、装置仕様に応じた段階導入型のオンライン化を提案します。

• 上位連携設計：MES との通信仕様（SEMI 標準、ベンダ独自）を解析し、最適な接続方法を定義
• 旧設備の再生：通信I/Fやプロトコル変換ゲートウェイを開発し、旧式装置を現行 MES と連携
• ハイブリッド制御：オンライン対応が難しい装置でも、レシピ選択・運転開始・完了報告を補助ツールで自動化
• 共通通信モジュール化：装置ごとの差異を吸収し、追加装置にも流用可能な通信ドライバを提供
• 運用理解と仕様決定支援：お客様の現場フローに合わせて仕様を整理し、段階的に機能拡張可能な構成を策定

成果

• 旧世代設備を含むライン全体の統合運用と自動化を実現
• レシピ設定・手入力ミスの削減により誤加工ゼロ運用を支援
• 設備メーカ差異を吸収することで、新設備追加時の接続工数を削減
• 装置オンライン化により生産進捗のリアルタイム監視と工程制御を可能に
• MES 改修やライン増設時も既存装置を再利用でき、投資対効果を最大化

技術要素

• 通信I/F・伝送方式
  • RS-232C（SEMI-I/II、ベンダ独自）
  • LAN（HSMS-SS、ソケット通信）
  • ファイル共有・FTP・SSH/RSH 伝送
• 上位システム連携
  • MES／スケジューラ／品質管理システムとのオンライン接続
  • REST API／ファイルIF／イベントトリガによる制御
• ハードウェア開発支援
  • 通信変換ユニット・ゲートウェイボックス・信号制御I/Oモジュール
• 対応装置例
  • ウェハプロセス装置、検査装置、マウンタ、ボンダ、チップソータ 等
• 対応範囲
  • 5インチ／6インチ／8インチ／300mm ラインまで幅広く対応

よくある質問

Q. オンライン非対応の古い装置でも接続できますか？
A. はい。I/F変換や補助ソフトを介してMESから制御可能にする構成をご提案します。

Q. ベンダごとに通信仕様が異なる場合でも統合できますか？
A. 可能です。プロトコル変換と共通通信モジュールにより多ベンダ環境を吸収します。

Q. オンライン化が難しい装置では、どのような改善ができますか？
A. レシピ選択支援ツールや運転指示画面を用いた運用簡易化で、人為的ミスの防止を支援します。