ウェハマップ統合管理サービス「SWEETS」

課題

• 拠点ごと・工程ごとにシステムが分断され、ウェハマップや品質データの一元管理ができない
• 前工程／後工程で個別システムが乱立し、保守や更新の負荷が高い
• 装置ごとに通信I/Fやデータ形式が異なり、開発・変換コストが増大
• 生産フローが硬直的で、負荷変動に応じたライン組み換え・平準化が難しい
• 拠点・中継サーバなど初期投資のハードルが高く、スモールスタートが難しい
• マップ編集・合成の手作業が多く、トレーサビリティ（テスト結果・品質・マップの関連付け）が追いづらい
• 装置にI/Fが一つしかなく、複数システム（稼働管理・マップ管理 等）との同時接続が困難

アプローチ

ウェハマップ統合管理サービス「SWEETS」は、工程横断で装置接続 → 収集 → 変換 → 編集/合成 → 蓄積 → 活用（表示・連携）を一気通貫で提供します。

• 装置インタフェース：前工程・テスト・アセンブリ各工程でデータ収集（ファイル共有/HTTP/SSH/ソケット 等）
• ウェハマップ編集/合成：欠陥マップ作成、複数工程の不良化チップ合成、カテゴリ一括編集、同座標一括編集

欠陥ウェハマップデータ作成機能

欠陥ウェハマップデータ合成機能

• 運用機能：ロット分割・ウェハスクラップ、リングやアセンブリキーの付与、ピックアップ進捗の可視化
• フォーマット変換：SEMI/ベンダ固有/独自形式を相互変換し、対外連携も相手形式へ自動変換
• 段階導入：小規模な現場要件から導入し、拠点横断・工程横断へ拡張（既存装置の段階的オンライン化）

成果

• データ統合と自動変換によりマップ処理のリードタイム短縮、人手作業削減
• 工程横断の合成・閲覧により品質要因の早期特定、歩留まり改善の検討を高速化
• 接続方式とフォーマットの標準化で新規装置導入の立ち上げ工数を削減
• ロット分割/スクラップや進捗モニタ等により現場運用の見える化と意思決定の迅速化
• スモールスタートで初期投資を抑えつつ段階拡張が可能

技術要素

• 対応フォーマット（例）
  • SEMI: G85
  • プローバ: TEL、TSK
  • テスタ: EM21、TS1000／WL25
  • 独自: テキスト、CSV、XML、JSON
• 伝送方式（例）
  • ファイル共有（Windows共有／samba／NFS）、HTTP（REST）、SSH/RSH、ソケット通信
• 通信I/F（例）
  • RS-232C（SEMI-I/II、各社独自）、LAN（HSMS-SS、各社独自）、その他（FTP、ファイル共有 等）
• 接続実績（抜粋）
  • 前工程：インライン装置、外観検査装置
  • ウェハテスト：テスタ、プローバ、外観検査装置
  • アセンブリ：ウェハマウンタ（鷹取）、ダイボンダ（キヤノンマシナリ／ファスフォード／ASM／Alphasem／ESEC／JCM／上野精機／芝浦エレテック／新川／三菱）、チップソータ（キャノン／EMTEC）、フリップチップボンダ（NEC／芝浦メカ）、スタッフバンプボンダ（新川）、IDラベル発行（リンテック／CREDEN(マレーシア)／SATO）、ウェハID刻印読取（ナノシステム）、外観検査（キャノン／EMTEC／CREDEN／東レ）
• 表示・編集
  • 最大 2000×2000 チップのマップ表示、回転/拡大縮小、カテゴリ別色分け、同座標一括編集、エリア外座標編集
• プラットフォーム（例）
  • サーバ/クライアント構成、Windows/Linux、ブラウザUI、API連携（REST）

よくある質問

Q. 既存装置が旧式I/Fですが接続可能ですか？
A. RS-232C（SEMI-I/II）やファイル連携などレガシー経由の接続実績があります。変換ゲートウェイを挟む構成も可能です。

Q. フォーマットが拠点ごとに異なります。相互変換できますか？
A. SEMI/ベンダ固有/独自形式に対応可能です。対外向けも相手機の指定形式へ変換して送受信します。

Q. まずは一部ラインだけ導入したいのですが？
A. ピンポイントな装置接続＋マップ編集から開始し、拠点や工程へ段階的に広げる導入計画をご提案します。

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