ウェハテスト品質判定システム

テスト結果・ウェハマップ・統計情報を統合し、手動/自動判定とアラートで品質異常の早期検出と歩留まり改善を実現

課題

  • テスト結果(良/不良、座標)やウェハマップが工程・拠点ごとに分断され、一貫した判定基準が保てない
  • 判定処理の属人化や手作業の多さにより、初動の遅れ・見落としが発生
  • 装置/システムごとにI/Fやデータ形式がバラバラで、連携・拡張のたびにコスト増
  • テスト→後工程の連携が弱く、ロット凍結/工程停止判断アラート通知が後手に回る

アプローチ

本システムは、工程横断のデータ統合を前提に手動/自動の二系統で品質判定を提供します。
ウェハテスト品質判定システム

  • 判定トリガ:専用画面からの手動実行/MES・他システムからの自動実行(ソケット、ファイルIF、Web API)
  • 判定メソッド:歩留まり判定、バーンイン判定、車載品向け良品チップ抽出、工程横断の統計計算判定(SPC/しきい値/ルール判定 等)
  • 結果の活用:判定結果に応じてロット凍結指示アラート通知誤工程進捗のブロック
  • 拡張性:プラグイン方式で新規判定ロジックを追加しても既存処理へ影響最小
  • トレーサビリティ:テスト結果・品質情報・ウェハマップを同一座標で追跡し、要因分析を高速化

成果

  • 自動判定と通知により初動を短縮、異常の見落としを低減
  • 判定基準の標準化でばらつき/属人化を解消、再現性を確保
  • データ連携とフォーマット変換の自動化で立ち上げ工数を削減
  • 後工程(例:ダイボンド)への確実な良品マップ提供により誤実装を抑制、再検査・再作業を削減

技術要素

  • 判定入力データ:テスト結果(座標・Bin/Pass/Fail)、ウェハマップ、工程別統計量、履歴/ロット情報
  • トリガ/I/F:ソケット通信、ファイルIF、Web API(REST)/MES連携
  • フォーマット対応:SEMI/ベンダ固有/独自(テキスト, CSV, XML, JSON)
  • 表示/編集:最大 2000×2000 チップのマップ表示、回転/ズーム、カテゴリ別色分け、同座標一括編集
  • アーキテクチャ:サーバ/クライアント構成、Windows/Linux、ブラウザUI、API連携

よくある質問

Q. 既存装置のI/Fが古いのですが対応可能ですか?
A. RS-232C やファイル連携などレガシー接続を含む実装経験があり、ゲートウェイ併用で段階的に更新できます。

Q. フォーマットが拠点ごとに違います。相互変換できますか?
A. SEMI/ベンダ固有/独自の相互変換に対応します。対外向けは相手機の指定形式で送受信可能です。

Q. まずは通知だけ始め、後からロット凍結まで拡張できますか?
A. 可能です。判定→通知から開始し、MES連携や凍結制御を段階的に追加できます。


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