技術革新の速い半導体業界において、半導体デバイスメーカ様をサポートする我々にも常に高度な技術力を求められます。マイコン応用のシステムハウスである我々は、豊富な開発実績から培ってきた業務知識、そして確かな技術力を武器に半導体工場向け生産支援システムの開発を幅広く手がけてきました。強みであるハードウェア機器とソフトウェアを組み合わせたシステム開発では、データキャリアシステム、プロトコル変換機などの機器開発から、大規模な生産管理システムまで多種・多様なシステムを開発し、お客様に提供しています。特にウェハテスト工程においては、業務の基幹となるシステムを開発し、多数の工場で稼動しています。
また、半導体デバイスメーカ様で経験を積んだシステム開発技術者により、お客様の意図に合わせたシステム提案や、きめ細かいサービスをご提供いたします。

 

サニー技研の半導体工場向け生産システム開発の取り組みは、1980年のマイコン制御式シーケンサの開発から始まりました。それ以降、30年以上にわたって半導体デバイスメーカ様の業務をハードウェア、ソフトウェアの両面からサポートしています。

ウェハテスト工程では、テスト結果情報（ウェハ上のチップ座標・良/不良判定など）をウェハマップデータとして電子データ化することで、1)テストトラブル時の再テストによるリカバリ、2)良品チップだけをスキップテストすることによる工期短縮、等を実現致します。更に、後工程のダイボンド装置に利用することでインクマーク不良による誤動作を無くし、装置能力の向上が可能となります。また、工場負荷の平準化や一部工程をサブコン・ファウンドリに委託する場合にも、工場間・会社間でのウェハマップデータの授受が必要となります。問題となるのは、国内・海外の各会社では、電子データのデータフォーマットや項目定義がバラバラで独自性が強く、SEMIスタンダードのフォーマットが浸透しているものの、多数のフォーマットが存在しているのが実情です。

当社のウェハマップデータ統合管理サービス「SWEETS」は、前記、生産上の課題を解決することができる受託開発サービスをご提供いたします。半導体工場におけるウェハマップデータに携わるシステム・製造装置・運用を経験豊富な営業・技術者が強力に支援致します。

ウェハマップデータ統合管理サービス「SWEETS」については、こちらをご参照ください。

 

当社はマップデータ・テストデータを用い、様々な角度からのウェハの品質判定方法をご提供いたします。
判定する方法として、専用画面からの手動判定、MESや他システムからのトリガによる自動判定があります。トリガとして、ソケット通信、ファイルIF、WEB APIなどを選択することができ、お客様の環境に合わせた提供が可能です。

判定に関しては、歩留り判定、バーンイン判定、車載品向け良品チップ判定機能、複数工程にまたがるテストの統計計算判定等様々な判定機能の実績があります。また、拡張性が高く、新たな判定機能の開発が必要になった場合でも、既存の判定処理に影響を与えることなく判定機能を追加することができます。
判定結果を元に、ロットの凍結指示や、アラームの通知、誤った工程の進捗防止、異常の早期検出をサポートします。

ウェハテスト品質判定システムの開発事例については、こちらをご参照ください。

 

「オンライン化」とは、一言で表現すると上位システム(MES)と生産設備を接続し、MESからの条件指定によって製品加工、測定を行うための仕組みです。
工場の自動化、合理化を推進する上で必須の機能ですが、生産設備の導入時期によって難易度は変わってきます。

例えば、300mmライン以降のラインでは標準化が進んでおり、その仕様に準拠した仕様であれば比較的容易に接続することが可能です。
一方、5インチ設備や6インチ設備等のある程度古い時期に導入された設備では、そのオンライン仕様はメーカ様毎に異なることが一般的で、それゆえ、装置仕様を考慮しながら、自社MESに接続するようにオンライン化を検討する必要が出てきます。そのため、お客様側の運用を理解した上で、仕様を決定し、実装を進めることになります。

当社は、5インチ設備が主流の時代より蓄積された実績と経験により、お客様のご要求にマッチするオンライン化のお手伝いをさせて頂きます。また、オンライン化出来ない設備についてもレシピ選択ミスの防止や運用の簡易化等の改善のご提案や、お客様側の仕様に応じたツール、システムの導入をソフトウェアだけでなく、ハードウェアの開発も含めて、ご支援、ご提案させて頂きます。

サーバマシンの仮想化が進み、従来のシステム更新に比べてハードウェア自体の数が減り、統合化された環境でシステム運営を行うことが一般的になっています。

従来のシステム毎にサーバを購入するのに比べハードウェアの購入費用や管理コストの低減が期待されますが、一方、これらの新しい環境で従来のシステムをそのまま稼働させられないケースもあります。一定期間より古いOS環境で構築されたシステムは最近の仮想環境上ではOS自体がサポートされていない場合もあり、移行の際には、OS変更を伴うシステムの修正が必要になる場合があります。

当社はこのようなお悩みに対して、お客様が実現したい環境へのシステム移行のお手伝いをさせて頂きます。
仮想化への移行を初めとして、WindowsからLinuxなどのOS移行、或いはVisualBasicからJava等への言語移行などあらゆるご要求にお応えすることが可能です。

老朽化更新でお困りの際は、是非、お気軽に当社にお問い合わせください。

「設備保全」とは、工場の機械設備を正常で良好な状態に保つための、機械設備の点検や修理を行う業務です。

機械設備が壊れると生産ラインがストップし生産性が落ちるため、会社の損失に繋がりかねません。そのため、しっかり機械設備を保全する必要がありますが、故障した機械の修理履歴、点検・修理・部品交換の計画や実績、部品管理などの、実に様々な情報管理が課題です。

その課題の解決策の一つが情報システムのツールを利用することです。ツールを利用することで、修理やメンテナンスを行う人たちが持っている情報を見える化(数値/グラフ/写真)し、技術・経験の蓄積、その情報共有もでき、設備保全業務をサポートすることができます。

当社は、半導体デバイスメーカ様との開発実績と経験により、お客様が実現したい設備保全の情報システムのツール化をお手伝いをさせて頂きます。

設備保全システムの開発事例については、こちらをご参照ください。

 

当社がご提供する電子タグは、

• 作業の合理化による人手工数の低減
• ペーパーレス化の推進による紙経費の削減

することを主な目的とし、「つながる」ことによる情報の見える化推進のお手伝いをいたします。

・「つながる」ことによる情報の見える化
従来の生産現場では、半製品や部品に帳票や作業手順を記載した紙を取り付け、作業開始時に記載された条件を確認、作業後に結果を記録したり、或いは、オペレータが現場各所に設置されたPCまで移動して作業条件の確認や実績報告を行っており、手扱い時間や紙使用量が無視出来ないレベルで発生しています。

これに対し、電子タグを名札として取り付けることで、お客様保有のシステムから提供したい情報をタイムリーに提供することができ、結果として、人手の工数や紙経費の削減が可能となります。

その他にも、在庫管理やピッキングなど様々な用途への展開が考えられ、お客様のご要望にあったシステムのご提供をさせて頂くことが可能です。どうぞお気軽にお問合せ下さい。

 

工場設備をコンピュータやサーバと接続して制御する際、現在はLANを使用して接続するのが一般的になっていますが、一昔前まではRS-232Cケーブルを用いるのが一般的でした。時代の流れによってサーバマシンを初めとするコンピュータはその進化が目覚ましいものがありますが、一方、工場の設備は購入当時の仕様で使い続けることが多く、工場の老朽化更新が思うように進められないといったご苦労はないでしょうか？

当社がご提供するCA-1000、VirtualTSはこのようなお悩みに対して、お手伝い出来るかもしれません。

設備側の改造は不要で、シリアル通信で送受信されるデータをTCP/IP通信に変換することでサーバシステムに接続することが可能です。サーバ側は従来のRS-232Cのコネクタ単位にIPアドレスとポート番号を指定することで、特定の工場設備と従来通りの通信を行うことが可能です。

 

半導体デバイスメーカ様と共に創り上げてきた開発事例の一部をご紹介いたします。

区分	システム	ソフトウェア	ハードウェア
ウェハプロセス工程	着工装置指示システム	○
	生産管理ツール	○
	外観検査ウェハマップ編集ツール	○
	装置オンラインシステム	○
	装置稼働率監視ツール	○
	データキャリアシステム		○
	搬送制御効率化システム	○
	電子タグペーパーレスシステム	○
	プロトコル変換機	○	○
ウェハテスト工程	ウェハテスト工程・装置管理システム	○
	ウェハテスト品質判定システム	○
	ウェハマップ編集システム	○
	ウェハマップ配送システム	○
	検査装置管理システム	○
	データキャリアシステム		○
	装置オンラインシステム	○
	プロトコル変換機	○	○
アセンブリ工程	ピックアップデータ管理システム	○
設備保全	設備保全システム	○