ウェハマップデータからウェハの品質を判定します。

品質判定機能

歩留判定

ウェハマップデータからウェハの品質判定を行います。
設定値と比較して、ウェハの歩留や指定カテゴリの発生数をチェックすることで、ウェハの品質を判定します。
品質判定はウェハ単位だけではなくロット単位で行うことも可能です。

品質異常ロットの凍結指示

異常判定ウェハの通知機能

判定処理で品質異常を検出した場合、設定によって担当者にメール送信や、他のシステムに凍結指示を通知することができます。

判定条件設定

品質判定の判定条件はWEBブラウザから検索や編集が可能です。
判定条件の編集には、Excelツールでも可能です。判定条件のコピーや編集が普段通りの操作で簡単に行えます。Excelツールでは、判定条件のリスト表示も可能です。